Advances in resist technology and processing II - March 11-12, 1985, Santa Clara, California
- Författare
- (Larry F. Thompson, chairman/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE - International Society for Optical Engineering | cop. 1985 | USA, Bellingham, Wash | vi, 350 sidor. diagr., ill., tab |